一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法

摘要

本发明涉及多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，包括以下步骤：将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中，并往冷氢化反应系统中注入氢气，注入氢气的体积占冷氢化反应系统中气体体积总量的15-21％；通过冷氢化反应系统对还原系统尾气和氢气进行加热，加热温度为540-560℃；将经过加热后的还原系统尾气和氢气输入到冷氢化反应器中，进行氢化反应，使还原系统尾气中的四氯化硅与氢气反应直接转化成三氯氢硅，并通过冷氢化反应器中的纯化装置将还原系统尾气中的二氯二氢硅转换成三氯氢硅。该方法把还原炉中排出的尾气不降温不分离不解析，而是作为原料直接进行氢化反应，因此，可以缩短工艺流程，起到节能降耗的目的。

主权项

一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，其包括以下步骤：(1)将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中，并往所述冷氢化反应系统中注入氢气，其中，注入氢气的体积占所述冷氢化反应系统中气体体积总量的15‑21％；(2)通过所述冷氢化反应系统对所述还原系统尾气和氢气进行加热，加热温度为540‑560℃；(3)将经过所述冷氢化反应系统加热后的还原系统尾气和氢气输入到冷氢化反应器中，进行氢化反应，使还原系统尾气中的四氯化硅与氢气反应直接转化成三氯氢硅，并通过所述冷氢化反应器中的纯化装置将还原系统尾气中的二氯二氢硅转换成三氯氢硅。