发明名称 FORMATION OF ZINC SELENIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS6414197(A) 申请公布日期 1989.01.18
申请号 JP19870171403 申请日期 1987.07.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKAWA KAZUHIRO;MITSUYU TSUNEO;YAMAZAKI OSAMU
分类号 C23C16/18;C30B25/18;C30B29/48;H01L21/20;H01L21/363 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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