发明名称 GROWING DEVICE FOR CRYSTAL OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6414189(A) 申请公布日期 1989.01.18
申请号 JP19870171838 申请日期 1987.07.09
申请人 MITSUBISHI MONSANTO CHEM CO;MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 YAJIMA FUMIKAZU;OKADA HIDEO;KATANO CHIKU;OKANO TAKESHI
分类号 C30B15/14;C30B15/10 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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