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发明名称
GROWING DEVICE FOR CRYSTAL OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPS6414189(A)
申请公布日期
1989.01.18
申请号
JP19870171838
申请日期
1987.07.09
申请人
MITSUBISHI MONSANTO CHEM CO;MITSUBISHI KASEI CORP
发明人
YAJIMA FUMIKAZU;OKADA HIDEO;KATANO CHIKU;OKANO TAKESHI
分类号
C30B15/14;C30B15/10
主分类号
C30B15/14
代理机构
代理人
主权项
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