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发明名称 TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6423174(A) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 JP19870180295 申请日期 1987.07.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOBAYASHI KUNIO;IMANAKA SEIJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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