| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6459920(A) |
申请公布日期 |
1989.03.07 |
| 申请号 |
JP19870217031 |
申请日期 |
1987.08.31 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OWADA NOBUO;HORIUCHI MITSUAKI |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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