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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6467920(A) 申请公布日期 1989.03.14
申请号 JP19870225044 申请日期 1987.09.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAMURA HIROTAKA
分类号 H01L21/312;H01L21/314 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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