发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6482525(A) |
申请公布日期 |
1989.03.28 |
申请号 |
JP19870241808 |
申请日期 |
1987.09.24 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANAKA TOSHIO;KUME ICHIRO;NARA AIICHIRO |
分类号 |
C30B29/42;C30B19/12;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B29/42 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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