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发明名称 FOCUSED ION BEAM IMPLANTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6482443(A) 申请公布日期 1989.03.28
申请号 JP19870240465 申请日期 1987.09.24
申请人 JEOL LTD 发明人 SAWARAGI HIROSHI
分类号 H01J37/147;H01J37/15;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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