发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01123421(A) 申请公布日期 1989.05.16
申请号 JP19870281002 申请日期 1987.11.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUJIWARA NAOYOSHI;HAMASHIMA KOTARO;HIKICHI TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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