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经营范围
发明名称
FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号
JPH01179322(A)
申请公布日期
1989.07.17
申请号
JP19880000208
申请日期
1988.01.04
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KAMATA YUTAKA
分类号
G03F7/40;G03C5/00;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
G03F7/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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