发明名称 Semiconductor wafer coating apparatus with angular oscillation means
摘要
申请公布号 US4850299(A) 申请公布日期 1989.07.25
申请号 US19880198080 申请日期 1988.05.24
申请人 MERULLO, JOHN G.;TEPOLT, GARY B. 发明人 MERULLO, JOHN G.;TEPOLT, GARY B.
分类号 B05C9/08;B05C11/10;H01L21/00 主分类号 B05C9/08
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利