| 发明名称 |
AUTOMATIC HIGH SPEED OPTICAL INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL89311(D0) |
申请公布日期 |
1989.09.10 |
| 申请号 |
IL19890089311 |
申请日期 |
1989.02.16 |
| 申请人 |
KLA INSTRUMENTS CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
H05K3/00;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/311;(IPC1-7):G02F/ |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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