POSITIVE RESIST DEVELOPER AND METHOD OF DEVELOPING POSITIVE RESIST,申请号EP19850116494-传众专利搜索

发明名称	POSITIVE RESIST DEVELOPER AND METHOD OF DEVELOPING POSITIVE RESIST
摘要
申请公布号	EP0186184(B1)	申请公布日期	1989.11.29
申请号	EP19850116494	申请日期	1985.12.23
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;KANTO CHEMICAL CO., INC.	发明人	KATO, TIHARU;SAITO, KAZUYUKI;ISHIKAWA, NORIO;MORI, KIYOTO
分类号	H01L21/30;G03C1/72;G03F7/00;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027	主分类号	H01L21/30
代理机构		代理人
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