| 发明名称 |
METHOD OF FORMATION OF INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH021956(A) |
申请公布日期 |
1990.01.08 |
| 申请号 |
JP19880142237 |
申请日期 |
1988.06.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KIMURA MASATOSHI;TAKEUCHI SUMITAKA |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/31;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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