发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH021920(A) 申请公布日期 1990.01.08
申请号 JP19880143095 申请日期 1988.06.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAMINAO MINORU
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址