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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0250423(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 JP19880201268 申请日期 1988.08.12
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MATSUYAMA TOSHIO
分类号 B08B5/02;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
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