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发明名称
SEMICONDUCTOR CHARACTERISTICS MEASUREMENT
摘要
申请公布号
JPH0250450(A)
申请公布日期
1990.02.20
申请号
JP19880201194
申请日期
1988.08.12
申请人
NEC CORP
发明人
SEKO YOSHIKAZU
分类号
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
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