发明名称 Lithographic process having improved image quality
摘要
申请公布号 US4902899(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 US19870056161 申请日期 1987.06.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LIN, BURN J.;MORUZZI, ANNE M.;ROSENBLUTH, ALAN E.
分类号 G03F1/00;G03F1/08;G03F1/14;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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