发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0256917(A) 申请公布日期 1990.02.26
申请号 JP19880208870 申请日期 1988.08.22
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 OTSUKI MAKOTO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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