发明名称 FORMATION OF CONDUCTIVE WIRING
摘要
申请公布号 JPH0252434(A) 申请公布日期 1990.02.22
申请号 JP19880204171 申请日期 1988.08.17
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI KANJI;UEDA MOICHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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