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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02102526(A)
申请公布日期
1990.04.16
申请号
JP19880257773
申请日期
1988.10.12
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TANIGUCHI AKIHISA;KISHIMOTO SATORU
分类号
H01L21/288
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
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