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经营范围
发明名称
PLASMA TREATMENT AND DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02111881(A)
申请公布日期
1990.04.24
申请号
JP19880263622
申请日期
1988.10.19
申请人
M C ELECTRON KK
发明人
KUDO DAIJIRO
分类号
C23C16/50;C23C4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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