| 发明名称 |
PREPARATION OF POSITIVE RESIST COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02154259(A) |
申请公布日期 |
1990.06.13 |
| 申请号 |
JP19880308559 |
申请日期 |
1988.12.06 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEM CO LTD |
发明人 |
HIOKI TAKESHI;KUWANA KOJI;TOMIOKA ATSUSHI;NAKANISHI HIROTOSHI;KAMIYA YASUNORI;HANAMOTO YUKIO;OOI SATSUO |
| 分类号 |
C08L61/04;C08L61/06;G03F7/022;G03F7/023 |
主分类号 |
C08L61/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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