发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02168642(A) 申请公布日期 1990.06.28
申请号 JP19880324203 申请日期 1988.12.21
申请人 NEC CORP 发明人 YONEMITSU SHINOBU
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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