旋转干燥设备

摘要

一种用于干燥半导体圆片的旋转干燥设备，其中该圆片只是在其边缘部分由多个径向延伸臂所夹持，且其中设置用以防止在旋转干燥期间由于该臂的旋转，像扇子一样，而产生湍流空气流，及由于旋转干燥设备本身的操作所搅动的杂质重新污染已清洗干净及干燥的圆片表面。

主权项

1、用于干燥片状元件的旋转干燥设备，所述设备包括一个作旋转运动的轴(126)，并在其一端装有驱动马达(128)，而在其另一端装有旋转的顶部组件(130)，其特征在于：-所述顶部组件包括一个顶部元件(160)，同轴地安装在所述轴的另一端，并具有多个由轴向外延伸的旋臂(124)，-多个可动臂(122)与各个所述旋臂枢轴连接，并具有啮合圆片的部位(125)，-用以偏置所述可动臂的啮合圆片的部位至啮合圆片的位置的偏置装置(170)；-用以抗拒所述偏置装置的力从所述啮合圆片的位置移动可动臂的装置(184，186)，及-紧紧围绕所述径向延伸臂的包容装置(200)，包括一盖罩元件(202)，用以基本消除因径向延伸臂旋转而在片状元件周围产生的气流。