固态摄像装置

摘要

一种固态摄像装置，其主要具有第１导电型基体领域，和排列有形成于该基体领域之第１导电型之多个电荷储积领域的摄像领域和配置于该摄像领域周围第２导电型通道截断领域，及于上述基体领域中之摄像领域之下的第２导电型领域而使上述电荷储积领域之第１导电型载子吸收于上述基体领域且吸收第２导电型载子于上述通道截断领域，其特征为上述通道截断领域系由接近于上述摄像领域周围所配置之低浓度不纯物领域及该低浓度不纯物领域和藉高电阻领域连接于其周围所形成之高浓度不纯物领域所构成。

主权项

一种固态摄像装置,其主要具有第1导电型基体领域,和排列有形成于该基体领域之第1导电型之多个电荷储积领域的摄像领域和配置于该摄像领域周围之第2导电型通道截断领域,及于上述基体领域中之摄像领域之下的第2导电型领域而使上述电荷储积领域之第1导电型载子吸收于上述基体领域且吸收第2导电型载子于上述通道截断领域,其特征为:上述通道截断领域系由接于上述摄像领域周围所配置之低浓度不纯物领域及该低浓度不纯物领域和藉高电阻领域连接于其周围所形成之高浓度不纯物领域所构成。图示简单说明第1图为本创作之固态摄像装置之一例之要部扩大平面图。第2图为其断面图。第3图为习用之固态摄像装置之要部扩大平面图。第4图为其断面图。第5图为电位分布图。