发明名称 PATTERN INSPECTION
摘要
申请公布号 EP0147205(B1) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 EP19840308998 申请日期 1984.12.21
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 MATSUI, SHOWGO C/O FUTITSU LIM.PATENT DEP.;KOBAYASHI, KENICHI C/O FUTITSU LIM PATENT DEP.
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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