| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING HIGH POLYMER FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02250987(A) |
申请公布日期 |
1990.10.08 |
| 申请号 |
JP19890069384 |
申请日期 |
1989.03.23 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
SUZUKI YOSHITO;OTANI KENICHI |
| 分类号 |
C08J7/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/60 |
主分类号 |
C08J7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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