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发明名称 Magnetically filtered low loss scanning electron microscopy
摘要
申请公布号 US4962306(A) 申请公布日期 1990.10.09
申请号 US19890444926 申请日期 1989.12.04
申请人 INTENATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HODGSON, RODNEY T.;LEGOUES, FRANCOISE K.;WELLS, OLIVER C.
分类号 H01J37/20;H01J37/14;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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