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发明名称 PROCESSING METHOD OF SEMICONDUCTOR BASE BODY AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02283018(A) 申请公布日期 1990.11.20
申请号 JP19890083477 申请日期 1989.03.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKAWA KAZUHIRO;KARASAWA TAKESHI;MITSUYU TSUNEO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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