| 发明名称 |
Microwave enhanced CVD method for depositing a boron nitride and carbon |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4973494(A) |
申请公布日期 |
1990.11.27 |
| 申请号 |
US19890329879 |
申请日期 |
1989.03.29 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
YAMAZAKI, SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/27;C23C16/511;C30B25/10 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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