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发明名称 Semiconductor device made with a trenching process
摘要
申请公布号 US4980748(A) 申请公布日期 1990.12.25
申请号 US19890361554 申请日期 1989.06.05
申请人 SONY CORPORATION 发明人 HOZUMI, HIROKI;NAKAMURA, MINORU;MIWA, HIROYUKI;KAYANUMA, AKIO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/763;H01L23/485;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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