发明名称 |
Mehrteilige Pumpstufe für Turbomolekularpumpe |
摘要 |
Pumpstufe (100) für eine Turbomolekularpumpe (102) zum Erzeugen eines Vakuums in einem zu evakuierenden Raum (104), wobei die Pumpstufe (100) eine erste Komponente (106) mit einem ersten Basiskörper (108) und einer Mehrzahl von sich davon ausgehend im Wesentlichen radial erstreckenden ersten Schaufeln (110) und eine zweite Komponente (112) mit einem zweiten Basiskörper (114) und einer Mehrzahl von sich davon ausgehend im Wesentlichen radial erstreckenden zweiten Schaufeln (116) aufweist, wobei die erste Komponente (106) und die zweite Komponente (112) zusammengesetzt oder zusammensetzbar sind, um dadurch die Pumpstufe (100) zu bilden. |
申请公布号 |
DE102016118038(A1) |
申请公布日期 |
2016.12.08 |
申请号 |
DE201610118038 |
申请日期 |
2016.09.23 |
申请人 |
Agilent Technologies, Inc. - A Delaware Corporation - |
发明人 |
Emelli, Enrico;Cau, Simone |
分类号 |
F04D19/04 |
主分类号 |
F04D19/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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