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发明名称
VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0356673(A)
申请公布日期
1991.03.12
申请号
JP19890190984
申请日期
1989.07.24
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
HORI ATSUO
分类号
C23C14/54;H01L21/31;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
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