| 发明名称 |
FORMATION OF OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0360408(A) |
申请公布日期 |
1991.03.15 |
| 申请号 |
JP19890194657 |
申请日期 |
1989.07.27 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
TAKEMURA YASUHIKO |
| 分类号 |
C01B13/20;C01G1/00;C01G3/00;C23C16/30;H01B12/00;H01B13/00 |
主分类号 |
C01B13/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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