发明名称 METHOD FOR PRESERVING SEMICONDUCTOR OR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03148471(A) 申请公布日期 1991.06.25
申请号 JP19890273727 申请日期 1989.10.23
申请人 MITSUBISHI GAS CHEM CO INC 发明人 INOUE YOSHIAKI;HARIMA YOSHIHIKO;MURABAYASHI SHIGERU
分类号 B65D85/86;B65D73/02;B65D81/24;B65D85/38;H01L23/00 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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