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发明名称
MAKING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR910004233(Y1)
申请公布日期
1991.06.29
申请号
KR19880001034U
申请日期
1988.01.30
申请人
SAM SUNG ELECTRONIC CO.,LTD.
发明人
CHOI WAN-KYUN
分类号
(IPC1-7):H01L21/88
主分类号
(IPC1-7):H01L21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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