发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03165524(A) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 JP19890305643 申请日期 1989.11.24
申请人 SHARP CORP 发明人 YAMAMURA KANJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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