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发明名称
APPARATUS FOR GENERATING ION
摘要
申请公布号
JPH03179651(A)
申请公布日期
1991.08.05
申请号
JP19890318127
申请日期
1989.12.07
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
MATSUDO MASAHIKO
分类号
H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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