发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03211871(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900006388 申请日期 1990.01.17
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIMODA KOICHI
分类号 H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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