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发明名称 PROBE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03211745(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900006659 申请日期 1990.01.16
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 AKASAKI HIROSHI;OTSUKA KANJI
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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