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发明名称 PROCESS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICES
摘要
申请公布号 US5055420(A) 申请公布日期 1991.10.08
申请号 US19890351323 申请日期 1989.05.09
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 IKEDA, SHUJI;NAGASAWA, KOUICHI;MOTOYOSHI, MAKOTO;NAGAI, KIYOSHI;MEGURO, SATOSHI
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/08 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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