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发明名称 BARREL STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR EPITAXIAL REACTOR
摘要
申请公布号 EP0210569(B1) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 EP19860109997 申请日期 1986.07.21
申请人 MTC ACQUISITION CORPORATION THE CARBON/GRAPHITE GROUP, INC. 发明人 POST, ROBERT C.;BORDELON, KEVIN N.;MOON, BURL M.
分类号 C30B25/12 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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