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发明名称 MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPH03250728(A) 申请公布日期 1991.11.08
申请号 JP19900048244 申请日期 1990.02.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUDA YOSHIYUKI;UNO SHIGEKI;MORI KAZUNARI
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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