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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03263325(A) 申请公布日期 1991.11.22
申请号 JP19900063059 申请日期 1990.03.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ADACHI MITSURU
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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