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发明名称 MANUFACTURE OF MICRO VACUUM TUBE
摘要
申请公布号 JPH0448736(A) 申请公布日期 1992.02.18
申请号 JP19900157914 申请日期 1990.06.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO KAZUHIKO
分类号 H01L29/812;H01L21/285;H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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