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发明名称
MEASURING METHOD FOR IMPURITY OF SEMICONDUCTOR SURFACE
摘要
申请公布号
JPH0448628(A)
申请公布日期
1992.02.18
申请号
JP19900155693
申请日期
1990.06.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
SHIMIZU HIROBUMI;MUNAKATA TADASUKE;MATSUZAKI TORU;MATSUO HIROOMI
分类号
H01L21/304;H01L21/66
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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