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发明名称 VERFAHREN UND APPARAT ZUR LUFTDICHTEN ZUSAMMENSETZUNG EINER HALBLEITERPACKUNG.
摘要
申请公布号 DE3683400(D1) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 DE19863683400 申请日期 1986.05.28
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKENAKA, TAKAJI;WATANABE, HIDEKI, HADANO-SHI, JP;KOBAYASHI, FUMIYUKI, SAGAMIHARA-SHI, JP
分类号 H01L23/02;H01L21/00;H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
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