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发明名称
METHOD FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF RADIATION TYPE SUBSTRATE HEATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0478139(A)
申请公布日期
1992.03.12
申请号
JP19900192228
申请日期
1990.07.20
申请人
ANELVA CORP
发明人
AKETAGAWA KENICHI
分类号
C23C14/54;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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