发明名称 AUTOMATIC ROOM PRESSURE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH04113140(A) 申请公布日期 1992.04.14
申请号 JP19900233955 申请日期 1990.09.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ASANO YASUSHI
分类号 F24F7/007;F24F7/06;G05D16/00;H01L21/02 主分类号 F24F7/007
代理机构 代理人
主权项
地址